Cухие скрубберы NSOD

Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом.

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

• Емкость поглотителя:
  
  • NSOD 50 S/D – 50 литров;
  • NSOD 100 S/D – 100 литров;
  • NSOD 200 S/D – 200 литров.
• Высокая эффективность газоочистки;
• Низкие эксплуатационные расходы;
• Простой в обслуживании и замене адсорбционный картридж;
• Основные отрасли применения – полупроводниковое производство, FPD, солнечные батареи, светодиоды.
• Основные технологические процессы использования — IMP / Etch / CVD и т.д.

ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ

СОСТАВ СИСТЕМЫ

Основные особенности работы сухого скруббера:

• Газ очищается с помощью метода химической адсорбции.
• Если давление на входе превышает допустимые значения, то открывается перепускной клапан.
• Устройство адсорбционного картриджа обеспечивает легкую загрузку и замену адсорбента.
• В случае срабатывания аварийной сигнализации, очищенный газ поступает через аварийный картридж.

ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА

1. Z-VSS(адсорбент для SiH₄,AsH₃,PH₃и других газов группыVOCs)

2. Z-VNH(адсорбент для щелочных газов, таких какNH₃)*

* При использовании данного адсорбента для очисткиSiH₄,AsH₃,PH₃, его цвет меняется от небесно-голубого дотемно-коричневого.

3.Z-VHF(адсорбент для кислых газов)

Следует также учитывать, что цвет адсорбента может измениться под воздействием воздуха (О₂), т.е. без закачки газа.

ХИМИЧЕСКАЯ СХЕМА ОЧИСТКИ