Серия скрубберов сухого плазменного дожига

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов с большим коэффициентом расширения (H₂/NH₃).

Основные преимущества

• Производительность:
  
  • Модель 1.5К — 1500 л/мин (H2 — 200 SLM, Nh2 — 100 SLM);
  • Модель 3К – 3000 л/мин (H2 — 400SLM, Nh2 — 200SLM);
• Энергоэкономичность при высокой производительности;
• Высокая эффективность очистки DRE (＞99%);
• Длительный эксплуатационный цикл;
• Простая настройка работы в автоматическом режиме;
• Специальная конструкция, позволяющая избежать проблем с закалкой;
• Основная сфера применения – MOCVD.

Модельный ряд

Компоновка системы и технологическая схема

Установка сухого плазменного дожига

Особенности сухого плазменного дожига:

• Дожиг при температуре вспышки газа с помощью дугового зажигания (0,2-0,3 кВт);
• Безопасный дожиг слабого потока газа за счет плавного дугового разряда (подача воздуха: 10 — 20 л/мин);
• Обеспечение безопасного протекания всех технологических процессов даже если температура в камере не поддерживается на должном уровне из-за повреждения нагревателя.

Камера дожига и кожух нагревателя

Особенности камеры дожига:

• Нагреватель состоит из двух элементов (7 кВт ×2EA), которые при необходимость могут быть заменены по отдельности;
• Повышенная эффективность и стабильность обработки за счет подачи газа на внутреннюю поверхность стены нагревателя для предварительного нагрева.

Камера охлаждения

Особенности камеры охлаждения:

• Система непрямого охлаждения газа, прошедшего дожиг, позволяет уменьшить парообразование.

Резервуар для конденсата

Особенности резервуара для конденсата:

• Автоматический отвод конденсата с помощью фотодатчика (датчика уровня);
• Использование штифтовой трубки для повышения эффективности охлаждения;
• Простота технического обслуживания с помощью специального окна.

Камера охлаждения pcw

Особенности камеры охлаждения PCW:

• Понижение температуру газа с помощью непрямого водяного охлаждения;
• Циркуляция воды по замкнутому циклу.

Система нагнетания воздуха

Особенности системы нагнетания воздуха:

• Компрессорная подача воздуха в камеру дожига;
• Отсутствие перегрева благодаря использованию вытяжки нагретого воздуха;

Эффективность очистки газов