Скрубберы с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ)при температуре выше +800℃.

Основные преимущества

• Производительность:
  • NSHW600 — 600 л/мин;
  • NSHW1.5K – 1500 л/мин;
• Энергоэкономичность при высокой производительности;
• Высокая эффективность очистки;
• Антикоррозионная защита;
• Простая настройка работы в автоматическом режиме;
• Сферы применения – производство полупроводников, гибких дисплеев (FPD), солнечных батарей, светодиодов (LED);
• Основные технологические циклы применения – CVD / Травление / диффузия / и т.д.

Обрабатываемые газы

Состав системы

Рабочая камера

Особенности рабочей камеры:

• Нагревательный стержень втулочного типа адаптирован для повышения эффективности нагрева и простоты замены;
• Возможность обработки больших объёмов газа;
• Система осевого вращения предполагает простоту обслуживания (очистка полости от пыли и т.д.);
• При добавлении CDA используется циклонный метод, позволяющий избежать накопления пыли в локальной зоне;
• Стабильная работа конструкции из двух групп нагревательных стержней треугольной формы (всего 6 нагревательных стержней).

Средний фланец

Особенности среднего фланца:

• Благодаря газовому барьеру из азота (N₂) сухая и влажная зона идеально разделены, что позволяет избежать обратного потока водяного пара в рабочую камеру;
• Применение циклонной промывки для предотвращения накопления пыли;
• Вторая ступень среднего фланца покрыта тефлоном во избежание коррозии.

Промывочная установка

Особенности промывочной установки:

• Эффективность очистки водорастворимого газа максимизируется за счет использования водяного распылителя и насадки;
• Вертикальная конструкция облегчает удаление скопившейся пыли.

Душевание

Особенности душевания:

• Процедура душевания необходима для очистки газа от побочных примесей в виде пыли или тумана;
• Максимальная очистка водорастворимых газов;
• Вертикальная конструкция облегчает удаление осадка;
• Контроль температуры газа на выходе.

Резервуар для воды

Особенности резервуара для воды:

• Замкнутый цикл использования воды с минимальными потерями;
• Наличие смотрового окна для визуального контроля за процессом циркуляции;
• Герметичный поддон с датчиком утечки;
• Автоматическое управление уровнем жидкости.

Эффективность очистки газов