Скрубберы высокотемпературного плазменного дожига

Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой.

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

• Производительность:
  
  • NSPW600– 600 л/мин;
  • NSPW1.5K– 1500 л/мин;
  • NSPW3K – 3000л/мин.
• Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
• Превосходная эффективность очистки газа.
• Длительный срок службы плазменной горелки.
• Антикоррозионная защита.
• Простая настройка работы в автоматическом режиме.
• Основные отрасли применения: полупроводники, FPD, солнечные батареи, светодиоды.

ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ

ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ

СОСТАВ СИСТЕМЫ

ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА

Плазменная горелка состоит из катода, анода, канала подачи N₂, канала охлаждения, изолятора и т.д. Дуговой разряд генерируется между катодом и анодом с помощью потока N₂, который заряжается мощной энергией.

Основные особенности плазменной горелки:

• Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
• Превосходная эффективность очистки газа от ПФУ.
• Идеальная защитная блокировка.
• Длительный срок службы.

КАМЕРА ДОЖИГА

Главное предназначение камеры дожига состоит в предотвращении встречной реакции газов на входе в систему очистки за счёт использования отдельных клапанов.

Основные особенности камеры дожига:

• Впуск газа через разные клапаны для предотвращения встречной реакции газовых потоков перед их заходом в рабочую камеру.
• Продувка впускных клапанов N₂для предохранения от засора и для защиты от обратного возгорания.

РАБОЧАЯ КАМЕРА (КАМЕРА СГОРАНИЯ)

Особенности рабочей камеры:

• Предотвращение накопления загрязнения на стенках камеры.
• Выделение и сжигание побочных газовых примесей.
• Простота обслуживания за счет возможности вращения камеры вокруг своей оси.
• Высокая производительность.

ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ ФЛАНЕЦ

Предназначение промежуточного фланца состоит в предотвращении загрязнения в переходе между сухой и влажной зонами.

Особенности промежуточного фланца:

• Изоляция между сухой и влажной зонами с помощью газового затвора (N₂).
• Предотвращение загрязнения водяного патрубка за счёт циклонной водяной очистки.

ВОДЯНОЙ РЕЗЕРВУАР

В водяном резервуаре происходит дополнительная очистка водорастворимых газов с помощью абсорбера и душевания.

Особенности водяного резервуара:

• Замкнутая циркуляция воды.
• Быстрая и эффективная очистка водорастворимых газов через душевание.
• Антикоррозионное тефлоновое покрытие.

ВОДЯНАЯ КАМЕРА

Водяная камера предназначена для удаления пыли и побочных элементов, которые могут образовываться на предыдущих этапах очистки.

Особенности водяной камеры:

• Максимальная эффективность очистки водорастворимых газов.
• Очистка от осевшей пыли.
• Дополнительное охлаждение и контроль температуры газов на выходе.

БЛОК ПИТАНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ГОРЕЛКИ

Блок питания преобразует электроэнергию и управляет питанием плазменной горелки для оптимизации процесса воспламенения плазмы.

Основные функции блока питания:

• Преобразование переменного тока в постоянный (макс. мощность питания — 15 кВт).
• Обеспечение бесперебойного и безопасного питания с помощью высоковольтной схемы защиты.

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ОЧИСТКИ ГАЗОВ