Специальная версия скрубберов сухого плазменного дожига для микроэлектроники NPCR1000T3

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига и предназначена для очистки газовнерастворимых в воде.

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

• Автоматизированная система управления на основе программируемого логического контроллера (ПЛК) с вводом данных через сенсорный экран;
• Компактная структура;
• Удобная и экономичная система электропитания (208/380В постоянного тока, 3-х фазное подключение, 50/60 Гц, 15 кВт);
• Специальная конструкция системы (Hopper & Cone) предназначенная для предотвращения обветривания и увеличения скорости теплообмена за счет диффузии газа.

ЦИРКУЛЯЦИЯ ГАЗА

КОМПОНОВКА СИСТЕМЫ

ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА

Особенности плазменной горелки:

• Дожиг и ионизация газа мощной плазменной дугой;
• Высокая эффективность при низком энергопотреблении;
• Высокая степень очистки.

КАМЕРА ДОЖИГА

Особенности камеры дожига:

• Ионизация путем контакта целевого газа с плазменным пламенем и разделение отходящих газовых потоков;
• Сменный вставной тип внутренней трубы (инконеля) для защиты от возгорания и коррозии;

КАМЕРА ОХЛАЖДЕНИЯ

Особенности камеры охлаждения:

• Опосредованное снижение температуры газа без контакта с хладогеном;
• Наружное водяное охлаждение поверхности для предотвращения ожоговых травм присоприкосновении.

СОБИРАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО

Особенности собирающего устройства:

• Осаждение загрязнения, выделившегося в результате дожига;
• Сбор загрязняющих элементов за счет уменьшения их кинетической энергии с помощью функции охлаждения;
• Простота перемещения и обслуживания за счёт наличия колёсной базы;
• Лёгкая очистка вакуумной полости через сервисные окна.

ТЕПЛООБМЕННИК

Особенности теплообменника:

• Использование пластинчато-трубчатой структуры;
• Функция водяного охлаждения;
• Специальная конструкция системы (Hopper & Cone) предназначенная для предотвращения обветривания и увеличения скорости теплообмена за счет диффузии газа.

СЕРВИСНОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ

В целях безопасности и во избежание загрязнения окружающей среды рекомендуется осуществлять разборку скруббера в последовательном порядке.