Автоматические установки фотолитографии серии GHS-408А
Полностью автоматизированная установка для фотолитографических процессов совмещения и экспонирования предназначена для использования в серийном производстве интегральных микросхем. Установка обеспечивает автоматическую подачу, совмещение и экспонирование по заданному алгоритму
Достоинствами модели является удобство, высокая производительность и повторяемость.
| Параметр | Значение |
| Размер пластин | 4”, 6” |
| Размер фотошаблона | 5”, 7” |
| Толщина пластин | 0,2-1,1мм |
| Производительность | 260 пластин/час |
| Точность совмещения | 5мкм |
| Разрешение | 2 мкм (при контактном режиме и позитивном фоторезисте толщиной 1 мкм) |