Криогенные вакуумные насосы
Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции.
Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с до 57000 л/с.
Криогенные вакуумные насосы широко используются в процессах производства полупроводников, интегральных схем, оптических покрытий, солнечных панелей, плоских дисплеев, оптоэлектронных устройств и вакуумных электронных устройств. Это один из ключевых компонентов технологического оборудования для производства интегральных схем методом PVD и ионной имплантации, а также установок имитации космического пространства, физика высоких энергий, ускорители, калибровка и других.
Преимущества криогенных вакуумных насосов:
- Высокая скорость откачки
- Безопасная и надежная работа и низкая стоимость
- Интеллектуальная система автоматического управления
- Хорошая адаптируемость к вакуумной системе
- Чистота и отсутствие загрязнений
- Создание сверхвысокого вакуум
- Функция быстрой регенерации
- Гибкая установка в любом положении
- Можно построить откачную группу с несколькими криогенными насосами и одним компрессором
Криогенные вакуумные насосы выпускаются в двух модификациях:
- стандартная (версия CP)
- on-Board с автоматическим управлением и регенерацией (версия ICP и ECP)
| Модель | CP200ICP200 | CP200NICP200N | CP250ICP250 | CP250NICP250N | CP320ICP320 | CP320NICP320N |
| Входной фланец | DN200 ISO-KCF200ANSI 8 in | DN250 ISO-KCF250ANSI 10 in | DN320 ISO-KCF320ANSI 12 in | |||
| Предельное остаточное давление | 10-7Па | 10-7Па | 10-7Па | |||
| Производительность поH2OВоздухуH2Ar | 4000л/с1500 л/с2200 л/с1200 л/с | 6500л/с2200 л/с3200 л/с1800 л/с | 9500л/с3200 л/с5400 л/с2800 л/с | |||
| Емкость поArH2 | 1000 ст.л12 ст.л | 1600 ст.л16 ст.л | 2000 ст.л22 ст.л | |||
| Время захолаживания | менее 100 мин | менее 100 мин | менее 150 мин | |||
| Масса | 21,5 кг (CP200)22,0 кг (CP200N)26,5 кг (ICP200)27,0 кг (ICP200N) | 27,0 кг (CP250)23,5 кг (CP250N)30,0 кг (ICP250)28,5 кг (ICP250N) | 33,5 кг (CP320)27,5 кг (CP320N)38,5 кг (ICP320)32,5 кг (ICP320N) | |||
| Габаритные размеры | 397x240x521 мм (CP200)440х264х564 мм (CP200N)397х238х575 мм (ICP200)459х264х618 мм (ICP200N) | 422x290x539 мм (CP250)460х275х608 мм (CP250N)422x290x539 мм (ICP250)473х275х661 мм (ICP250N) | 462х370х550 мм (CP320)481х299х683мм (CP320N)462х370х602 мм (ICP320)502х299х736 мм (ICP320N) | |||
| Модель гелиевого компрессора | C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц | C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц | C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц | |||
| Количество подключаемых насосов | до 3 | до 2 | до 2 | |||
| Модель | CP400 | ICP400 | CP500 | ICP500 | CP630 |
| Входной фланец | DN400 ISO-KANSI 16 in | DN500 ISO-KANSI 20 in | DN630 ISO-K | ||
| Предельное остаточное давление | 10-7Па | 10-7Па | 10-7Па | ||
| Производительность поH2OВоздухуH2Ar | 16000 л/с6000 л/с9000 л/с5000 л/с | 30000 л/с10000 л/с14000 л/с8400 л/с | 46000 л/с18000 л/с14000 л/с13500 л/с | ||
| Емкость поArH2 | 2500 ст.л25 ст.л | 5500 ст.л40 ст.л | 6000 ст.л65 ст.л | ||
| Время захолаживания | менее 180 мин | менее 210 мин | менее 180 мин | ||
| Масса | 58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400) | 80,5 кг (CP500)85,5 кг (ICP500) | 58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400) | ||
| Габаритные размеры | 502х450х610 мм (CP400)502х450х663,5 мм (ICP400) | 552x550x605 мм (CP500)552x550x659 мм (ICP500) | — | ||
| Модель гелиевого компрессора | C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц | C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц | C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц | ||
| Модель | CP800 | CP1000LN | CP1250LN |
| Входной фланец | DN800 ISO-K | DN1000 ISO-K | DN1250 ISO-K |
| Предельное остаточное давление | 10-7Па | 10-7Па | 10-7Па |
| Производительность поH2OВоздухуH2Ar | 70000 л/с28000 л/с30000 л/с23000 л/с | 110000 л/с40000 л/с34000 л/с32000 л/с | 180000 л/с57000 л/с60000 л/с47000 л/с |
| Емкость поArH2 | 6500 ст.л70 ст.л | 7000 ст.л80 ст.л | 9000 ст.л150 ст.л |
| Время захолаживания | менее 240 мин | менее 240 мин | Менее 330 мин |
| Расход жидкого азота | — | 16 л/ч | 20 л/ч |