Инспекционный микроскоп для контроля качества полупроводниковых изделий MX12R
Модель инспекционного микроскопа MX12R оснащена 12- дюймовой рабочей платформой с держателями 4, 6, 8 и 12 дюймов и применяется для инспекции полупроводниковых пластин диаметром до 300мм и плоских дисплеев с диагональю до 17 дюймов.
Основные преимущества
- Регулируемый угол наклона окулярных трубок (0-35⁰) позволяет подобрать оптимальный угол зрения, что сокращает утомляемость от длительной работы с микроскопом и значительно повышает её эффективность.
- На лицевой панели микроскопа расположены кнопки управления моторизованным револьвером объективов и апертурной диафрагмой, что повышает удобство эксплуатации.
- Ударопрочная металлическая рама с шестью регулируемыми ножками имеет низкий центр тяжести и высокую устойчивость, что обеспечивает стабильность изображения.
- Надежный и высокоскоростной моторизованный револьвер объективов
- Удобный и устойчивый столик, оснащённый системой StageClutch, которая позволяет легко и плавно перемещать сцену.
- Оптическая система микроскопа поддерживает режимы светлого и темного поля, поляризации и ДИК (дифференциально-интерференционный контраст), благодаря чему микроскоп MX12R может широко применяться для инспекции полупроводников, плоскопанельных дисплеев FPD, корпусированных микросхем, печатных плат, литых металлокерамических деталей, абразивных инструментов и так далее.
- Модификация MX12RMOT имеет моторизованные столик и револьвер объективов, которые обеспечивают автоматическое или ручное позиционирование по осям X/ Y/ Z, при этом диафрагма настраивается автоматически.
Схема инспекционного микроскопа MX12R
Основные технические характеристики инспекционного микроскопа MX12R
| Оптическая система | скорректированная на бесконечность | |
| Режим наблюдения | светлое поле / темное поле / поляризация / ДИК-микроскопия | |
| регулировка угла наклона тринокулярной головки 0-35° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния: 50-76мм, деление потока света: 100:0 или 0:100 | ||
| Окуляры | PL10x /25мм — с высокой окулярной точкой, широким полем зрения, с диоптрической настройкой и окулярной сеткой | |
| Объективы | полуапохроматический объектив для светлого и темного поля с увеличением 5X/10X/20X/50X/100X и наличием функции ДИК-микроскопии | |
| полуапохроматический объектив с большим рабочим расстоянием для светлого и темного поля с увеличением 20X и наличием функции ДИК-микроскопии | ||
| полуапохроматический объектив с большим рабочим расстоянием для светлого и темного поля с увеличением 50X/100X | ||
| Револьверная головка | моторизованная револьверная головка для светлого и темного поля с шестью объективами, оснащенными разъемами для ДИК-призмы | |
| Рама | рама микроскопа для отраженного света с коаксиальным механизмом фокусировки с ходом 35 мм и точностью 0,001 мм, с регулировкой верхнего предела фокусировки и регулировкой усилия, со встроенным блоком питания с диапазоном напряжений 100В — 240В | |
| рама микроскопа для отраженного и проходящего света с коаксиальным механизмом фокусировки с ходом 35 мм и точностью 0,001 мм, с регулировкой верхнего предела фокусировки и регулировкой усилия, со встроенным блоком питания с диапазоном напряжений 100В -240В | ||
| Столики | трехуровневый механический столик размером 14 Х 12 дюймов с рукояткой для быстрой коаксиальной регулировки с ходом 356мм X 305мм, размер стола 718мм X 420мм, стеклянная вставка | |
| моторизованный столик размером 495мм X 641мм, с ходом 306мм X 306мм, с точностью позиционирования (3+L/50) мкм | ||
| Осветитель | осветитель отраженного света с моторизованными, центрируемыми апертурной и полевой диафрагмами, с переключателем светлого и темного поля, со слотами для фильтров и поляризационного комплекта | |
| Адаптер камеры | 0.5X / 0.65X 1X C-mount adapter | |
| Дополнительные аксессуары | поляризационный комплект, интерференционный фильтр, высокоточный микрометр, ДИК-призма | |
Документы