Инспекционный микроскоп для контроля качества полупроводниковых изделий MX8R
Модель инспекционного микроскопа MX8R оснащена 8- дюймовой рабочей платформой, а также имеет улучшенный эргономичный дизайн, обеспечивающий быстроту управления, равномерность освещения и высокую чёткость изображения.
Основные преимущества
- Широкоугольная система получения изображения (максимальное поле зрения достигает 26,5 мм);
- Тринокулярная головка со светоделительными призмами 100:0 или 0:100, обеспечивающими 100% вывод изображения с окуляров или камеры, либо со светоделительными призмами 20:80, обеспечивающими двустороннюю передачу изображения на 20% от окуляров и на 80% от камеры;
- Цельнометаллическая рама с низким центром тяжести, гарантирующая стабильность и четкость изображения;
- Револьверная головка с прецизионным подшипником, предназначенная для простоты и удобства управления;
- 8-дюймовый трехслойный механический столик для образцов размером 525 мм × 330 мм с диапазоном перемещения: 210 мм × 210 мм и 6-дюймовый столик для образцов размером 445 мм x 240 мм с диапазоном перемещения: 158 мм х 158 мм.
Схема инспекционного микроскопа MX8R
Аксессуары для инспекционного микроскопа MX8R
ОКУЛЯРЫ С ШИРОКИМ ПОЛЕМ ЗРЕНИЯ
- Окуляр 10X/25 мм для сохранения чёткости изображения по всему полю зрения;
- Окуляр 10X/26,5 мм позволяет получить максимально возможное поле зрения.
Объективы с большим рабочим расстоянием
- В серии профессиональных полуапохроматических металлографических объективов установлены высококачественные линзы с просветляющим покрытием;
- Объективы с увеличенным рабочим расстоянием эффективно предотвращают повреждения образца.
Доступные объективы
| Объектив | Кратность увеличения | Числовая Апертура (N.A.) | Рабочее фокусное расстояние, мм | Парфокальное – сопряжённое фокусное расстояние, мм |
| Полуапохроматический металлографический ДИК-объектив с бесконечной фокусировкой в светлом и темном поле | 5X 10X 20X 50X 100X | 0.15 0.30 0.50 0.80 0.90 | 13.5 9.0 2.5 1.0 1.0 | 45 — ∞ |
| Полуапохроматический металлографический объектив с бесконечно длинной фокусировкой в светлом и темном поле | 20X 50X 100X | 0.40 0.55 0.80 | 8.5 7.50 2.10 | 45 — ∞ |
| Полуапохроматический ДИК-объектив с бесконечной фокусировкой в светлом поле | 5X 10X 20X 50X 100X | 0.15 0.30 0.50 0.80 0.90 | 19.5 10.9 3.2 1.2 1.0 | 45 — ∞ |
СИСТЕМА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННО-КОНТРАСТНОЙ МИКРОСКОПИИ
(ДИК-микроскопия Номарского)
- При наблюдении в отраженном свете, ДИК-микроскопия позволяет создать объемное рельефное изображение за счет контрастности, зависящей от перепадов высоты на исследуемой поверхности;
- ДИК-микроскопия широко применяется для обнаружения дефектов (частиц, царапин) при проведении визуального контроля изделия.
Основные технические характеристики инспекционного микроскопа MX8R
| Оптическая система | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| Режим наблюдения | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| Тубус | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | ||
| тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 20:80 или 0:100 | ||
| Окуляры | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| PL10X/26,5 мм — с высокой окулярной точкой, широким полем зрения и с диоптрической настройкой (окулярная сетка – опция) | ||
| Объективы | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| полуапохроматический объектив с большим рабочим расстоянием для светлого и темного поля с увеличением 20X и наличием функции ДИК-микроскопии | ||
| полуапохроматический объектив с большим рабочим расстоянием для светлого и темного поля с увеличением 50X/100X | ||
| полуапохроматический объектив для светлого поля с увеличением 5X/10X/20X/50X/100X и наличием функции ДИК-микроскопии | ||
| Револьверная головка | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| револьверная головка для светлого поля с 6/7-ю объективами, оснащенными разъемами для ДИК-призмы | ||
| Рама | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| Столики | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| 6-дюймовый трехуровневый механический столик размером 445мм X 240мм с рукояткой для быстрой коаксиальной регулировки с ходом 158мм X 158мм, стеклянная вставка | ||
| Осветитель | тринокулярная головка с углом наклона 30° (прямое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
Документы