Установка для инспекции полупроводниковых пластин AWL812-AS

AWL812-AS – это инспекционная установка с автоматической подачей 12-дюймовой (при необходимости 8-дюймовой) пластины, оснащенная безопасной и надежной системой EFEM (включая загрузочный порт, устройство выравнивания и загрузочного робота). Данная установка имеет удобный интерфейс управления полностью на английском языке, а также она укомплектована оптической системой формирования изображений, которая обеспечивает проверку поверхности полупроводниковых пластин как на макро, так и на микроуровне. Эффективная обработка данных помогает получить статистику и анализ дефектов.

Основные преимущества инспекционной установки AWL812-AS

• Конструкция загрузочного робота позволяет производить подачу не только плоских пластин, но и изогнутых пластин толщиной 3мм.
• Порт загрузки имеет функцию открытия и закрытия FOUP/FOSB, дополнительный сканер штрих-кодов и функцию считывания RFID.

• Быстрое предварительное выравнивание для точного позиционирования пластины по вырезу (notch) и базовому срезу. Подходящие материалы пластин: Si, SiC EMC, стекло и т.д.

• Сдвоенный робот-манипулятор сокращает время захвата и позиционирования пластин в кассету FOUP, гарантируя безопасное и надежное их размещение в каждой станции оборудования. Робот-манипулятор изготовлен из алюминиево-магниевого сплава и оснащен антистатической силиконовой присоской для обеспечения бережной транспортировки пластин.

• Многофункциональный модуль макроинспекции оснащен плавным и простым в управлении джойстиком, с помощью которого удобно проводить макросъемку пластин под разными углами во всем поле зрения с использованием дополнительных источников освещения. Кроме того, доступна дополнительная функция анализа сохранённого изображения.

• Высокоскоростная система предварительной фокусировки моментально формирует четкое микроизображение. При этом используется сервопривод высокого разрешения с прецизионным скользящим модулем, который обеспечивает точное позиционирование при анализе микроструктур и составления карты пластины.

• Новая оптическая система металлографического микроскопа Sunny обеспечивает ультра-широкое поле обзора — 25 мм. Оптическая система также может быть оснащена поляризационными наборами, ДИК-призмой и моторизованной револьверной головкой.

• 5 / 10 / 20 / 50 /100-кратные объективы Long WD Semi-APO Metallurgical Infinity компании Sunny передают естественный цвет пластины, одновременно увеличивая яркость изображения темного поля и улучшая возможности контроля дефектов.

• Пример получения изображений в светлом и тёмном поле:

• В данном устройстве используется новейший пользовательский интерфейс с отображением англоязычных символов и пиктограмм, что позволяет быстро и просто реализовывать такие программные функции, как инициализация устройства, настройка точки сервопривода, регулировка уровня освещенности, точная настройка фокусного расстояния, сохранение изображения, список операций ввода-вывода, архивирование информации об аномалиях и т.д.
• Инспекционная установка может быть дополнительно оснащена электронной системой составления карты пластины. Для загрузки карты пластины считывается FOUP ID и ID пластины, либо карта пластины создаётся с помощью загрузки параметров, в противном случае устройство самостоятельно сгенерирует карту пластины после ее сканирования. Загрузив карту пластины, пользователь может просмотреть её дефекты. Если же дефект пластины отображается некорректно, пользователь может отредактировать карту пластины самостоятельно.

Габаритный чертёж инспекционной установки AWL812-AS

Основные технические характеристики инспекционной установки AWL812-AS