Автоматические зондовые станции ZHS-501A
Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов чиповGPP. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме.
Рабочая платформа
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 3”, 4”, 5” |
| Диапазон перемещенияX-Y | 170 x 240мм |
| Точность позиционирования X/Y | <±0.03мм@150мм |
| Разрешение | 0.001 мм |
Держатель пластины
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещения по Z | 3мм |
| Точность позиционирования Z | <±0.003 мм |
| Разрешение Z | 0.001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0.0013° |
Документы