Автоматические зондовые станции ZHS-803
Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов и интегральных микросхем. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме.
Рабочая платформа
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 6”, 8” |
| Диапазон перемещения X-Y | 270 x 500мм |
| Точность позиционирования X/Y | <±0.003мм@200мм |
| Разрешение X/Y | 0.001 мм |
Держатель пластины
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещения по Z | 20мм |
| Точность позиционирования Z | <±0.003 мм |
| Разрешение Z | 0.001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0.0013° |
Документы