Двусторонняя зондовая станция ZHS-609
Зондовая станция предназначена для анализа и контроля электрических параметров приборов с двух сторон полупроводниковой пластины. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры в автоматическом режиме.
Рабочая платформа
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 4”, 5” |
| Диапазон перемещения X-Y | 170 x 240мм |
| Точность позиционирования X/Y | <±0,01мм@150мм |
| Разрешение X/Y | 0,001 мм |
Держатель пластины
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещения по Z | 10мм |
| Точность позиционирования Z | <±0,003 мм |
| Разрешение Z | 0,001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±5° |
| Разрешение по ϴ | 0,0013° |
Документы