Турбомолекулярные насосы на керамических подшипниках
Турбомолекулярные насосы на керамических подшипниках с консистентной смазкой компании KYKY Technology Co., Ltd — это классические высоковакуумные насосы применяемые в научно-исследовательской деятельности и высоковакуумных лабораторных установках, химической и атомной промышленности, в металлургии, ускорителях частиц, при производстве электроники, в тонкопленочных технологиях и других областях промышленности.
Турбомолекулярные насосы могут устанавливаться в любом рабочем положении, обеспечивают откачку со скоростями от 110 л/с до 2000 л/с, обладают низким уровнем вибраций и могут работать с большими газовыми потоками в широком диапазоне рабочих давлений.
Во время работы практически не происходит улетучивания консистентной смазки, тем самым сохраняется чистота вакуумной среды, при этом обеспечивается долгий срок службы подшипников, которые необходимо обслуживать только один раз в 3-5 лет при нормальных условиях эксплуатации.
Компания KYKY Technology Co., Ltd выпускает различные версии насосов как с воздушным, так и с водяным охлаждением, в зависимости от задачи предлагаются также насосы в химстойком исполнении со специальным инверсным динамическим уплотнением между подшипником и выхлопной полостью, что минимизирует количество откачиваемого газа, проникающего в узлы подшипников и контактирующего с ними, тем самым существенно продлевая ресурс их работы до замены.
| Модель | FF-160/700 | FF-200/1300 | FF-250/2000 |
| Входной фланец | DN160ISO-K, CF160 | DN200 ISO-K, CF200 | DN250 ISO-K, CF250 |
| Выхлопной фланец | DN40ISO-KF | DN40ISO-KF | DN50ISO-KF |
|
Производительность по: N2 Ar He H2 |
700 л/с 680л/с 580л/с 260л/с |
1300 л/с 1250 л/с 1000 л/с 480 л/с |
2000л/с 1900 л/с 1600 л/с 740 л/с |
|
Степень сжатия по: N2 Ar He H2 |
> 109 > 109 > 107 > 106 |
> 109 > 109 > 104 > 103 |
> 108 > 109 > 106 > 105 |
| Предельно остаточное давление |
6×10-7Па(ISO) 6×10-8Па(CF) |
6×10-6Па(ISO) 6×10-8Па(CF) |
6×10-6Па(ISO) 6×10-7Па(CF) |
| Максимальное рабочее давление на выхлопе | 3мбар | 2,4 мбар | 2 мбар |
| Установка | в любом положении | в любом положении | в любом положении |
| Скорость вращения ротора | 36000 об/мин | 24000 об/мин | 24000 об/мин |
| Время разгона | ≤4мин | ≤ 6 мин | ≤ 8 мин |
| Тип охлаждения | воздушное или водяное | воздушное или водяное | водяное |
| Электропитание | 24VDC /220В, 50Гц | 24VDC /220В, 50Гц | 24VDC /220В, 50Гц |
| Потребляемая мощность | 500Вт | 500 Вт | 750 Вт |
| Масса |
Вод. 19 кг (ISO) 20.5 кг (CF) Возд. 23 кг (ISO) 24.5 кг (CF) |
Вод. 29 кг (ISO) 31 кг (CF) Возд. 33 кг (ISO) 35 кг (CF) |
Вод. 32 кг (ISO) 35 кг (CF) |
| Блок управления | TCDP-II | TCDP-II | TCDP-II |
